Neues DektakXT-Gerät
Innolume setzt sich für die kontinuierliche Weiterentwicklung seiner Hochtechnologie-Produktionskapazitäten ein, indem es technologische Fortschritte nutzt. Ein Schlüsselelement dieser Initiative ist die Einführung aktualisierter Geräte, wie die kürzlich erfolgte Installation des DektakXT-Profilometers im Reinraum, das das ältere Dektak-Modell ersetzt.
Das DektakXT ist mit fortschrittlichen Funktionen ausgestattet, die den Datenaufnahmeprozess optimieren. Die Vision64-Software ermöglicht es den Benutzern, automatisierte Rezepte zur Profilaufnahme an vorgegebenen Punkten auf dem Wafer zu erstellen. Besonders hervorzuheben ist die integrierte Positionskontrollfunktion, die den Bedarf an manueller Ausrichtung minimiert und so die Effizienz und Konsistenz der Waferpositionierung auf dem Objekttisch verbessert. Nach dem Profilieren analysiert die Software die Ergebnisse automatisch und speichert sie in einer dafür vorgesehenen Datenbank. Benutzer profitieren von der Flexibilität bei der Datenspeicherung, indem sie entweder alle Daten in einer einzigen Datenbank konsolidieren oder sie nach einzelnen Wafern organisieren. Diese Fähigkeit verbessert die statistische Analyse über verschiedene Prozesse hinweg und ermöglicht es den Ingenieuren, Geräteparameter mit größerer Genauigkeit zu optimieren.
Neben der automatisierten Profilerstellung unterstützt das DektakXT verschiedene Ingenieur- und experimentelle Projekte durch die Möglichkeit der Einzelprofilaufnahme. Der Profilierungsprozess wird durch eine intelligente Messlängenerkennung, eine anpassbare Zoomkamera und eine Vielzahl von Messparametern optimiert, die alle zu hochpräzisen Ergebnissen beitragen. Das Vision64-Programm bereichert die Datenanalyse zusätzlich, indem es eine Auswahl spezialisierter Filter bietet, die auf die einzigartigen Anforderungen jedes Experiments zugeschnitten sind.
Über die traditionelle Profilerstellung hinaus erweitert das DektakXT die analytischen Möglichkeiten mit Funktionen wie Wafer-Krümmungsmessung, 3D-Oberflächenkartierung und Filmbelastungsmessungen. Diese zusätzlichen Fähigkeiten werden entscheidend sein, um umfassende Daten zu den hergestellten Produkten zu sammeln und die Qualität und Leistung der Geräte von Innolume weiter zu verbessern. Insgesamt stellt die Implementierung des DektakXT-Profilometers einen bedeutenden Schritt zur Erreichung höherer Produktions- und Qualitätsstandards dar.
