Innolume erweitert Fertigungskapazitäten und stärkt die vertikale Integration in Dortmund
Innolume baut seine Fertigungs- und Entwicklungskapazitäten in Dortmund deutlich aus, um die wachsende Kundennachfrage über das gesamte Produktportfolio hinweg zu bedienen. Die Erweiterung umfasst eine neue Produktionsstätte, zusätzliche Epitaxieanlagen und umfangreiche Modernisierungen der bestehenden Fertigungsinfrastruktur.
Diese Investitionen stärken die vertikal integrierte Fertigung von Innolume vom epitaktischen Wachstum über die Waferbearbeitung, optische Beschichtungen, Montage und Gehäusefertigung bis hin zur Endprüfung von Laserchips und Modulen. Die Erweiterung ermöglicht es dem Unternehmen, die Produktion bestehender Produkte zu steigern, neue Technologien schneller einzuführen und hohe Qualitäts- und Zuverlässigkeitsstandards aufrechtzuerhalten.
Die zusätzlichen Kapazitäten unterstützen die wachsende Nachfrage in wichtigen Märkten. Dazu zählen optische Transceiver auf Basis der Siliziumphotonik, optische Hochgeschwindigkeitsverbindungen für Cloud-Rechenzentren und KI-Infrastruktur, LiDAR-Systeme sowie zahlreiche industrielle, medizinische und wissenschaftliche Anwendungen.
Neue Produktionsstätte in Dortmund-Derne
Innolume baut eine neue Produktionsstätte in Dortmund-Derne auf. Die Erweiterung unterstützt die Fertigung von Produkten auf Galliumarsenidbasis (GaAs), die sowohl Quantendot- (QD) als auch Quantentopf-Technologien (QW) nutzen.
Bereits jetzt wurden erhebliche Fortschritte erzielt. Dazu gehören die Installation eines 15 Meter hohen Stickstofftanks und die Vorbereitung von vier Reinräumen für Anlagen zur Molekularstrahlepitaxie (MBE). Weitere Infrastrukturmaßnahmen sind im Gange, darunter eine neue 10-kV-Stromversorgung für die erhöhte Fertigungskapazität. Planung, Genehmigungsverfahren, technische Dokumentation und Bauarbeiten erfolgen nach Möglichkeit parallel, um die Umsetzung des Projekts zu beschleunigen.
Ausbau der epitaktischen Produktionskapazitäten
Innolume betreibt derzeit zwei Riber-MBE49-Reaktoren an seinem bestehenden Produktionsstandort im Technologie- und Industriepark Phoenix West in Dortmund. Im Rahmen der Kapazitätserweiterung werden zwei neue Riber-MBE6000-Reaktoren in der neuen Produktionsstätte in Dortmund-Derne installiert. Lieferung und Installation sollen im vierten Quartal 2026 beginnen. Anschließend folgt die Inbetriebnahme. Die Produktion am neuen Standort soll im Laufe des Jahres 2027 schrittweise hochgefahren werden. Darüber hinaus hat Innolume eine Veeco-GEN2000-Anlage für die Molekularstrahlepitaxie bestellt, um seine Fertigungsmöglichkeiten weiter auszubauen. Die neuen Anlagen werden die epitaktischen Produktionskapazitäten deutlich erhöhen und Innolumes Möglichkeiten zur Fertigung von 6-Zoll-GaAs-Wafern stärken. Zusammen mit den bestehenden Anlagen ermöglichen sie eine flexible Fertigung mit Waferformaten von 3, 4 und 6 Zoll. Damit unterstützen sie höhere Produktionsvolumina und vielfältige Kundenanforderungen.
Modernisierung des bestehenden Produktionsstandorts
Parallel zum Aufbau des neuen Standorts investiert Innolume rund 20 Millionen Euro in die Modernisierung seiner bestehenden Produktionsstätte. Diese Investitionen erweitern die Fertigungsmöglichkeiten in den Bereichen Waferbearbeitung, optische Beschichtungen, Inspektion, Zuverlässigkeitsprüfung und Gehäusefertigung. Davon profitieren sowohl Standardprodukte als auch kundenspezifische Lösungen.
Ein wesentlicher Schwerpunkt liegt auf dem Ausbau und der Automatisierung der Waferbearbeitung. Die Modernisierung umfasst einen neuen automatisierten Bereich für die Fotolackbeschichtung, Entwicklung und Temperung sowie zusätzliche Anlagen für Lift-off-Prozesse, Reinigung und Ätzen. Neue Anlagen zur Maskenausrichtung, ein modernes Oxidationssystem, zusätzliche Beschichtungsanlagen sowie modernisierte Läpp- und Poliersysteme stärken die interne Waferbearbeitung von Innolume weiter.
Innolume erweitert außerdem seine Kapazitäten für die Elektronenstrahllithografie (EBL) um zwei zusätzliche Raith-Systeme, deren Installation für November 2026 geplant ist. Zusammen mit dem bestehenden System erhöhen diese Investitionen die Kapazität für das hochpräzise Schreiben von Gitterstrukturen in Lasern mit verteilter Rückkopplung (DFB) erheblich. Dies unterstützt die Entwicklung neuer Laserdesigns und höhere Produktionsvolumina.
Weitere Investitionen konzentrieren sich auf die Passivierung und optische Beschichtung von Laserfacetten. Eine Veeco-SPECTOR-Anlage zur Ionenstrahlabscheidung wurde bereits installiert. Sie ermöglicht die präzise Abscheidung optischer Beschichtungen mit kontrollierter Reflektivität. Dadurch erweitert Innolume seine internen Beschichtungskapazitäten und kann unterschiedliche Anforderungen an die optische Leistung flexibler erfüllen.
Um auch bei steigenden Produktionsvolumina eine gleichbleibende Produktqualität und Zuverlässigkeit sicherzustellen, erweitert Innolume seine Inspektions- und Charakterisierungsmöglichkeiten um ein Rasterelektronenmikroskop (SEM), ein Rasterkraftmikroskop (AFM) und ein Dektak-Profilometer. Diese Systeme ermöglichen die detaillierte Untersuchung und Analyse von Bauelementstrukturen und Oberflächeneigenschaften während der Entwicklung und Fertigung. Zusätzliche Anlagen für Zuverlässigkeitsprüfungen, Klimakammern und erweiterte Burn-in-Kapazitäten stärken die Produktqualifizierung und Lebensdauerprüfung gemäß den jeweils anwendbaren Telcordia-Standards und kundenspezifischen Anforderungen.
Parallel dazu baut Innolume seine Montage- und Gehäusefertigungskapazitäten durch zusätzliche hochpräzise Die-Bonding- und Drahtbondanlagen aus. Neue Systeme zum Nahtschweißen, zur optischen Ausrichtung und zum Schweißen erhöhen die Fertigungskapazitäten für Laserbauelemente im Gehäuse und fasergekoppelte Module. Damit unterstützen sie größere Produktionsvolumina und kundenspezifische Anforderungen.
Mit diesen Investitionen schafft Innolume die Grundlage für die nächste Phase seines industriellen Wachstums. Die erweiterte Fertigungsinfrastruktur ermöglicht es dem Unternehmen, größere Produktionsvolumina zu bewältigen, die Fertigungsdurchlaufzeiten mit der Verfügbarkeit zusätzlicher Kapazitäten zu verkürzen und flexibler auf Kundenanforderungen zu reagieren. Gleichzeitig wird Innolume weiterhin in neue Technologien und die Produktentwicklung investieren, um den sich wandelnden Anforderungen seiner weltweiten Kunden gerecht zu werden.
