Oxidationsofen Alox

Unser Unternehmen hat einen modernen thermischen Oxidationsofen von Aloxtec erworben, der speziell für die laterale Oxidation von AlGaAs-Schichten auf Mesas entwickelt wurde.

Eine besondere Eigenschaft dieses innovativen Ofens ist das erweiterte Bildverarbeitungssystem, das eine Echtzeitüberwachung der Öffnungsweite der Mesas während des Oxidationsprozesses ermöglicht. Darüber hinaus erlaubt diese Technologie eine präzise Kontrolle kritischer Prozessparameter wie Temperatur, Druck, Wasser- und Gasfluss sowie eine lokale Temperaturregelung auf den Wafern. Dies führt zu einer deutlich verbesserten Homogenität der Wafer.

Die Installation des neuen Ofens, der bereits in Betrieb ist, wurde Mitte August abgeschlossen. Nach erfolgreichen Tests trägt der thermische Oxidationsofen von Aloxtec nun zur Herstellung unserer Produkte bei.

Diese Investition unterstreicht unser Engagement für höchste Qualitätsstandards und kontinuierliche Innovation. Mit der Einführung dieses neuen Ofens sind wir optimal aufgestellt, um unsere Produktionsprozesse weiter zu verbessern und die Effizienz unserer Fertigung zu steigern.